Media type: Book; Thesis Title: Verbesserte Positionsbestimmung von Strukturen auf Photomasken Contributor: Siebert, Andreas [Author] Corporation: Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Abteilung Fertigungsmesstechnik Published: Bremerhaven: Wirtschaftsverl. NW, Verl. für neue Wiss., 1996 Published in: PTB-Bericht ; 24 Extent: VI, 103 S.; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 3894297417 RVK notation: ZN 4150 : Dünnschichttechnologie UX 1450 : Maschinenbautechnik, Feinmechanik Keywords: Fotolithografie > Fertigungsfehler > Platzierung > Maßgenauigkeit > Messgenauigkeit Maskentechnik > Koordinatenmesstechnik > Messgenauigkeit Origination: University thesis: Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1996 Footnote:
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