Media type: Book Title: Mikromechanik : Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie Contributor: Heuberger, Anton [Hrsg.] imprint: Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 1991 Issue: Unveränd. Nachdr. der 1. Aufl. Extent: XVII, 501 S; Ill Language: German ISBN: 3540187219; 0387187219 RVK notation: UX 2350 : Mikroelektronik ZS 4000 : Allgemeines ZN 4980 : Mikrocontroller, Signalprozessoren ZN 3700 : Mikromechanik (hier auch Nanotechnologie) Keywords: Mikromechanik Origination: Footnote: Literaturangaben
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 3700 H592 Item ID: 10115155 Status: Loanable
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 3700 H592 Item ID: ZW.09.92.8.470.E1 Status: Loanable