Media type: Book; Thesis Title: Eine vergleichende Untersuchung der physikalisch-chemischen Prozesse an der Grenzschicht direkt und anodisch verbundener Festkörper Other titles: Nebent.: Anodisches und direktes Waferbonden Contains: Literaturverz. S. 108 - 115 Contributor: Mack, Stefan [Author] Published: Düsseldorf: VDI-Verl., 1997 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 43600 Extent: VI, 115 S; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 3183436027 RVK notation: UP 7570 : Halbleiter-Schichten Keywords: Silicium > Wafer > Bonden Silicium > Wafer > Glas > Bonden Origination: University thesis: Zugl.: Halle-Wittenberg, Univ., Diss., 1997 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 1702-436 Item ID: 30436099 Status: Loanable