Media type: Book; Thesis Title: PVD-Sputter-Abscheidung kubischer Bornitridschichten mittels hochfrequent angeregter Plasmen Contains: Literaturverz. S. 141 - 147 Contributor: Schütze, Andreas [Author] imprint: Stuttgart: Fraunhofer IRB Verl., 1997 Published in: Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik: Berichte aus Forschung und Entwicklung ; 2 Extent: VI, 147 S; Ill., graph. Darst; 21 cm Language: German ISBN: 3816751474 Keywords: Borcarbid > Hochfrequenzsputtern > CBN Beschichten > PVD-Verfahren > Bornitrid Origination: University thesis: Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1997 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 7680 S385 Item ID: 30077887 Status: Loanable