Media type: Book; Conference Proceedings Title: Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnikbauteile : Tagung München, 19. und 20. Oktober 1994 Event: Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnikbauteile imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1994 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte ; 1172 Extent: XI, 119 S.; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 3180911727 RVK notation: ZN 4170 : Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie) ZN 4900 : Allgemeines Keywords: Maskentechnik > Integrierte Schaltung Origination: Footnote:
Central Library – stack Shelf-mark: 94 8 54853 001 Item ID: 10075368 Status: Loanable, place order > Ordering possible ‒ please log in Orders received from Mon - Fri by 1 pm are expected to be ready for you on the same day.