Media type: Book; Conference Proceedings Title: Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnikbauteile : Tagung München, 27. und 28. Oktober 1993 Corporation: VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik Event: Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnikbauteile Published: Düsseldorf: VDI-Verl., 1993 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: VDI-Berichte ; 1102 Extent: 187 S.; Ill.,graph. Darst Language: German ISBN: 3180911026 RVK notation: ZN 4100 : Allgemeines ZN 4170 : Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie) Keywords: Maskentechnik Maskentechnik Maskentechnik Origination: Footnote: Literaturangaben
Central Library – stack Shelf-mark: 93 8 42518 001 Item ID: 10071454 Status: Loanable, place order > Ordering possible ‒ please log in Orders received from Mon - Fri by 1 pm are expected to be ready for you on the same day.