Media type: Book Title: In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen Contributor: Koch, Alexander [Author] Published: Düsseldorf: VDI-Verl., 1993 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 35700 Issue: Als Ms. gedr. Extent: VI, 155 S.; graph. Darst Language: German ISBN: 3181457086 RVK notation: ZN 4100 : Allgemeines Keywords: Beschichten > Plasmatechnik > Plasmadiagnostik Beschichten > Plasmatechnik > Dünne Schicht > Diagnosesystem Origination: Footnote: Literaturverz. S. 140 - 155
Departmental Library DrePunct – stack Shelf-mark: 93 8 41017 001 Item ID: 34198263 Status: Loanable, place order > Ordering possible ‒ please log in Delivery expected: 1 - 2 days after order