Media type: Book; Thesis Title: Messungen und Simulationen zur kinetisch kontrollierten Erzeugung dünner Schichten nach dem CVD-Verfahren Contributor: Zimdahl, Soeren [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1994 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 5 ; 36800 Issue: Als Ms. gedr. Extent: IX, 88 S; graph. Darst Language: German ISBN: 3183368056 Keywords: Siliciumcarbid > Faserverbundwerkstoff > Kohlenstofffaser > Beschichten > Grafit > CVD-Verfahren Siliciumcarbid > CVD-Verfahren > Mathematisches Modell Origination: University thesis: Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 1705-368 Item ID: 30899693 Status: Loanable