Media type: Book; Thesis Title: Multilayerbearbeitung mit Excimer-Laserstrahlung für die integrierte Optoelektronik und Sensorik Contributor: Sommer, Martin H. [Author] imprint: Aachen: Shaker, 2000 Published in: Berichte aus der Lasertechnik Extent: VI, 120 S; Ill., graph. Darst; 21 cm Language: German ISBN: 3826575644 RVK notation: ZN 5000 : Allgemeines Keywords: Integrierte Optoelektronik > Mehrschichtleiterplatte > Wafer > Lithografie > Excimerlaser > Prozessanalyse Origination: University thesis: Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 5000 S697 Item ID: 10089686 Status: Loanable