Media type: Book; Thesis Title: Plasma chemical vapor deposition of thin metal oxide films on particles in the riser of a circulating fluidized bed Other titles: Nebent.: Plasma-CVD of thin films on particles Contributor: Karches, Martin Josef [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 2002 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 3 ; 719 Issue: Als Ms. gedr. Extent: XIV, 114 S; Ill., graph. Darst; 21 cm Language: English ISBN: 3183719037 RVK notation: ZM 7680 : Bedampfen allgemein, PVD-Verfahren Keywords: Teilchen > Beschichten > Keramischer Werkstoff > PECVD-Verfahren > Mikrowellenplasma > Zirkulierende Wirbelschicht Teilchen > Beschichten > Keramischer Werkstoff > PECVD-Verfahren > Mikrowellenplasma > Zirkulierende Wirbelschicht Origination: University thesis: Zugl.: Zürich, Eidgenöss. Techn. Hochsch., Diss., 2001 Footnote: Mit e. dt. Zsfassung
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: VN 2003-719 Item ID: 30630994 Status: Loanable