Grundlagen zur lateralen Nanostrukturierung mittels Titan basierender rastersondentechnischer Oxidation für die Herstellung von Hochtemperatur Einzel-Elektronen-Transistoren
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Media type:
Book;
Thesis
Title:
Grundlagen zur lateralen Nanostrukturierung mittels Titan basierender rastersondentechnischer Oxidation für die Herstellung von Hochtemperatur Einzel-Elektronen-Transistoren