Media type: Book; Thesis Title: Abtragen von Silizium mit ultrakurzen Laserpulsen Contributor: Wagner, Thilo [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 2002 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 60900 Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Werkzeugmaschinen, Universität Hannover Issue: Als Ms. gedr. Extent: XIII, 118 S; Ill., graph. Darst; 21 cm Language: German ISBN: 3183609029 RVK notation: UH 5750 : Laser in der Materialbearbeitung und Materialprüfung ZM 8340 : Chemisches und elektrochemisches Abtragen Keywords: Silicium > Polykristall > Laserablation > Ultrakurzer Lichtimpuls > Femtosekundenbereich > Mikrosystemtechnik Silicium > Polykristall > Laserablation > Ultrakurzer Lichtimpuls > Femtosekundenbereich > Mikrosystemtechnik Origination: University thesis: Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 2001 Footnote: Literaturverz. S. 109 - 118
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 1702-609 Item ID: 30930548 Status: Loanable