Media type: Book; Thesis Title: Mikrorissbildung im GaAs und deren Nutzung beim Draht- und Innenlochtrennen in der Halbleiterwafer-Herstellung Contributor: Hammer, Ralf [Author] imprint: 2002 Extent: 168 S; Ill., graph. Darst; 21 cm Language: German RVK notation: ZN 2740 : Fachbezogene Forschung ZM 8300 : Allgemeines Keywords: Wafer > Galliumarsenid > Einkristall > Mikroriss > Trennschleifen > Trennläppen Origination: University thesis: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2002 Footnote:
Departmental Library DrePunct – stack Shelf-mark: 2008 8 004203 Item ID: 31297502 Status: Loanable, place order > Ordering possible ‒ please log in Delivery expected: 1 - 2 days after order