Media type: Book Title: Innovative Fertigungsverfahren für neue Produkte auf der Basis dünner Silizium-Bauelemente : Ergebnisbericht des BMBF Verbundprojektes "InnoSi" Contributor: Oelgeschläger, Detlef [Other]; Landesberger, Christof [Editor] Corporation: Forschungszentrum Karlsruhe Published: Stuttgart: Fraunhofer-IRB-Verl., 2004 Extent: 144 S; Ill., graph. Darst; 24 cm Language: German ISBN: 3816764614 RVK notation: ZN 4800 : Allgemeines Keywords: Wafer > Dünne Schicht > Halbleitertechnologie > Handhabungstechnik > Prozessentwicklung > Geräteentwicklung Etikett > RFID > Chip > Dünne Schicht > Nicht formstabiles Bauelement > Wickeln Origination: Footnote: Förderkennzeichen BMBF 02PD2380 - 02 PD2386
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 4800 L256 Item ID: 31143142 Status: Loanable