Media type: Book Title: Kontaminationen in der Mikrostrukturierung : mit 4 Tabellen Contributor: Albers, Jan [Author] Published: München; Wien: Hanser, 2005 Extent: 166 S; Ill., graph. Darst; 23 cm Language: German ISBN: 3446402918 RVK notation: ZN 3750 : Mikrosystemtechnik Keywords: Mikrosystemtechnik > Kontamination Mikrosystemtechnik > Reinraumtechnik Mikrosystemtechnik > Kontamination Mikrosystemtechnik > Reinraumtechnik Origination: Footnote: Literaturverz. S. [158] - 161
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 3750 A332 Item ID: 30838050 Status: Loanable