Media type: Electronic Journal Title: Biannual report / Institute of Micro- and Nanotechnologies, Center for Micro- und Nanotechnologies, ZMN Contributor: Technische Universität Ilmenau Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano imprint: Ilmenau: Techn. Univ., 2006-2010 Publication information: 2005/2006 - 2009/2010 Language: English Keywords: Zeitschrift Origination: Footnote: Access State: Open Access