Media type: Book; Thesis Title: Ion beam induced pattern formation on Si and Ge surfaces Contributor: Ziberi, Bashkim [Author] imprint: Leipzig: Engelsdorfer Verlag, 2007 Extent: 123 S.; Ill., graph. Darst; 21 cm Language: English; German ISBN: 3867032874; 9783867032872 RVK notation: UP 7990 : Sonstiges zur Physik dünner Schichten und Grenzflächen, z.B. Adhäsion, Diffusion Keywords: Silicium > Halbleiteroberfläche > Ionenstrahlbearbeitung > Musterbildung Germanium > Halbleiteroberfläche > Ionenstrahlbearbeitung > Musterbildung Origination: University thesis: Zugl.: Leipzig, Univ., Diss., 2006 Footnote: Zsfassung in dt. Sprache Zsfassung in dt. Sprache