Media type: E-Book; Thesis Title: Optimierung des chemisch-mechanischen Polierens von Siliziumwafern mittels stochastischer Modelle Contributor: Wiegand, Susanne [Author] imprint: 2007 Extent: Online-Ressource (PDF-Datei: 198 S., 7827 KB) Language: German Identifier: Keywords: Wafer > Chemisch-mechanisches Polieren > Stochastische Geometrie > Zufälliges Feld > Zufällige Menge Origination: University thesis: Freiberg (Sachsen), Techn. Univ. Bergakad., Diss., 2007 Footnote: Systemvoraussetzungen: Acrobat reader Access State: Open Access