Media type: E-Book; Thesis Title: Titannitrid- und Titan-Schichten für die Nano-Elektromechanik Other titles: Übers. des Hauptsacht.: Titanium nitride and titanium films for nanoelectromechanical systems Contributor: Pritschow, Marcus [Author] imprint: 2007 Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: Nanotechnologie > Elektromechanik > Schalter > Relais > Mehrschichtsystem > Titan > Oberflächenbehandlung Origination: University thesis: Stuttgart, Univ., Diss., 2007 Footnote: Auch als gedr. Ausg. erschienen Access State: Open Access