Media type: Book; Thesis Title: CMOS-Prozessintegration von epitaktischen Selten-Erden-Oxiden als high-K-Dielektrika auf SOI-Substraten Contributor: Gottlob, Heinrich Dieter Bernd [Author] imprint: Aachen: Shaker, 2008 Published in: Berichte aus der Halbleitertechnik Extent: II, 131 S.; Ill., graph. Darst; 21 cm Language: German ISBN: 3832270442; 9783832270445 RVK notation: ZN 4904 : Schaltungsentwurf ZN 4900 : Allgemeines ZN 3460 : Halbleiterwerkstoffe ZN 4960 : MOS-, MIS-Schaltungen (hier auch CTD-Schaltungen; Eimerkettenschaltungen; CMOS-Schaltungen...) Keywords: SOI-Technik > CMOS > High-k-Dielektrikum > Seltenerdmetall > Gate-Oxid > Epitaxieschicht SOI-Technik > MOS-FET > High-k-Dielektrikum > Seltenerdmetall > Gate-Oxid > Epitaxieschicht Origination: University thesis: Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 4960 G686 Item ID: 32164612 Status: Loanable