Media type: Book; Thesis Title: Herstellung großflächiger Nanostrukturen mittels Interferenzlithographie Contributor: Moormann, Christian [Author] imprint: Aachen: Shaker, 2008 Published in: Berichte aus der Elektrotechnik Extent: 109 S.; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 9783832277420 RVK notation: ZN 4170 : Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie) Keywords: Interferenzlithografie > Nanostruktur Nanostruktur > Interferenzlithografie Origination: University thesis: Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 4170 M825 Item ID: 32051572 Status: Loanable