Media type: E-Book; Thesis Title: Rasterkraftmikroskopische Untersuchungen zur Reibung von Silicium- und Al2O3-Einkristalloberflächen im Kontakt mit Silicium Contributor: Franzka, Steffen [Author] imprint: Karlsruhe: IKM, Inst. für Keramik im Maschinenbau, [ca. 1999] Published in: Institut für Keramik im Maschinenbau: IKM ; 27 Extent: Online-Ressource (PDF-Datei: 172 S., 21 MB); Ill., graph. Darst Language: German RVK notation: UP 7570 : Halbleiter-Schichten UP 7700 : Spezielle Eigenschaften dünner Schichten und Grenzflächen Keywords: Silicium > Saphir > Einkristall > Rasterkraftmikroskopie Origination: University thesis: Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 1999 Footnote: Systemvoraussetzungen: Acrobat reader Access State: Open Access