Media type: Book; Conference Proceedings Title: Mikro-System-Technik Chemnitz '09 : Mikromechanik & Mikroelektronik ; 9. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik ; 5./6. November 2009 Contributor: Mehner, Jan [Other]; Dittrich, Claus [Other] Corporation: Technische Universität Chemnitz Event: Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik imprint: Chemnitz: Techn. Univ., 2009 Extent: VI, 168 S.; Ill., graph. Darst Language: German; English ISBN: 9783000291357 RVK notation: ZN 3700 : Mikromechanik (hier auch Nanotechnologie) ZN 4900 : Allgemeines Keywords: Mikrosystemtechnik Mikroelektronik Origination: Footnote: Literaturangaben Beitr. überw. dt., teilw. engl
Central Library – stack Shelf-mark: 2010 4 000964 Item ID: 31911273 Status: Place order for use in library, no dispatch by interlibrary loan; delivery of photocopies possible > Ordering possible ‒ please log in