Media type: Book; Thesis Title: Thin films of Copper oxide and Copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices Contributor: Wächtler, Thomas [Author] imprint: Chemnitz: Universitätsverlag Chemnitz, 2010 Extent: 245 S.; Ill. graph. Darst Language: English ISBN: 9783941003170 RVK notation: ZN 4150 : Dünnschichttechnologie UP 7550 : Herstellung dünner Schichten incl. Epitaxie-Schichten, Dünnschichttechnik Keywords: Kupfer > Kupferoxide > Dünne Schicht > Atomlagenabscheidung > Metallisieren Ameisensäure > Atomschichtepitaxie > Ausgangsmaterial > Diketonate > Galvanische Abscheidung Kupfer > Kupferoxide > Metallisierungsschicht Reduktion > Ruthenium > Tantal > Tantalnitride > ULSI Origination: University thesis: Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2010 Footnote: Enth. außerdem: Thesen
Central Library – stack Shelf-mark: 2010 8 033561 Item ID: 32905124 Status: Place order for use in library, no dispatch by interlibrary loan; delivery of photocopies possible > Ordering possible ‒ please log in