Media type: E-Book; Thesis Title: Development of high temperature electrodeposited LIGA MEMS materials Contributor: Haj-Taieb, Manel [Author]; Aktaa, Jarir [Author]; Bade, Klaus [Author] Published: 2009 Published in: Forschungszentrum Karlsruhe: Wissenschaftliche Berichte des Forschungszentrums Karlsruhe ; 7492 Extent: Online-Ressource Language: English Identifier: Keywords: LIGA-Verfahren > MEMS > Superlegierung > Nickellegierung > Wolframlegierung > Nanokomposit Origination: University thesis: Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 2009(M. Haj-Taieb) Footnote: Access State: Open Access