Media type: Book Title: Semiconductor-on-insulator materials for nanoelectronics applications Contributor: Nazarov, Alexei [Hrsg.]; Colinge, J.-P. [Other]; Balestra, Francis [Other]; Raskin, Jean-Pierre [Other]; Gamiz, Francisco [Other]; Lysenke, V.S. [Other]; Nazarov, Alexei N. [Hrsg.] imprint: Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2011 Published in: Engineering materials Extent: IX, 447 S.; Ill., graph. Darst; 24 cm Language: English ISBN: 3642267084; 9783642267086; 9783642158674 Publisher, production or purchase order numbers: Sonstige Nummer: 80013377 RVK notation: ZN 3460 : Halbleiterwerkstoffe Keywords: Nanoelektronik > SOI-Technik > Halbleitersubstrat > MOS-FET > CMOS > MEMS Origination: Footnote: Literaturangaben Hier auch später erschienene, unveränderte Nachdrucke
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 3460 N335 Item ID: 32894313 Status: Loanable