Media type: Book Title: Atomic layer deposition of nanostructured materials Contributor: Pinna, Nicola [Editor]; Knez, Mato [Other] Published: Weinheim: Wiley-VCH, 2012 Extent: XXXVI, 435 S.; Ill., graph. Darst; 240 mm x 170 mm Language: English ISBN: 9783527327973; 3527327975 RVK notation: UP 7550 : Herstellung dünner Schichten incl. Epitaxie-Schichten, Dünnschichttechnik Keywords: Atomlagenabscheidung > Nanostrukturiertes Material Atomlagenabscheidung > Nanostrukturiertes Material Origination: Footnote: Literaturangaben