Media type: Book; Thesis Title: Ultraviolet nanoimprint lithography using flexible molds : process development and applications Contributor: Koo, Namil [Author] imprint: München: Dr. Hut, 2012 Published in: Nanotechnologie Issue: 1. Aufl. Extent: 107 S.; Ill., graph. Darst; 210 mm x 148 mm, 162 g Language: English ISBN: 9783843903769; 384390376X RVK notation: ZN 4170 : Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie) Keywords: Hochschulschrift Origination: University thesis: Zugl.: Aachen, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule, Diss., 2012 Footnote: Zsfassung in dt. und engl. Sprache
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 4170 K82 Item ID: 32048121 Status: Loanable