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Media type:
E-Book;
Thesis
Title:
Influence of the ion energy on generation and properties of thin barrier layers deposited in a microwave plasma process
Other titles:
abweichender Titel: Übers. des Hauptsacht.: Einfluss der Ionenergie auf die Herstellung und die Eigenschaften der in einem Mikrowellenplasma abgeschiedenen dünnen Barriereschichten
Übers. des Hauptsacht.: Einfluss der Ionenergie auf die Herstellung und die Eigenschaften der in einem Mikrowellenplasma abgeschiedenen dünnen Barriereschichten