Media type: E-Book; Thesis Title: Mikromechanisches kraftgekoppeltes Sensor-Aktuator-System für die resonante Detektion niederfrequenter Schwingungen Other titles: Übers. des Hauptsacht.: Micro-mechanical force-coupled sensor-actuator-system for the resonant detection of low frequency vibrations Contributor: Forke, Roman [Author] imprint: Chemnitz: Universitätsverlag Chemnitz, [2013] Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: RVK notation: ZN 3700 : Mikromechanik (hier auch Nanotechnologie) ZN 3750 : Mikrosystemtechnik Keywords: Vibrationssensor > Resonator > Masse-Feder-System > Aktor > Array > MEMS > Maschinenschwingung > Niederfrequenz > Zustandsüberwachung Dämpfung > Charakterisierung > Online-Ressource Origination: University thesis: Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2012 Footnote: Systemvoraussetzungen: Acrobat reader Access State: Open Access