• Media type: E-Book; Thesis
  • Title: Molecular dynamics simulations of Si, SiC and Si 3 N4 layered systems
  • Other titles: abweichender Titel: Übers. des Hauptsacht.: Molekulardynamische Simulationen von Si-, SiC- und Si 3 N 4 -Schichtsystemen
    Übers. des Hauptsacht.: Molekulardynamische Simulationen von Si-, SiC- und Si 3 N 4 -Schichtsystemen
  • Contributor: Prskalo, Alen-Pilip [Author]
  • Published: 2013
  • Extent: Online-Ressource
  • Language: English
  • Identifier:
  • Keywords: Molekulardynamik ; Siliciumcarbid ; Zerstäubung ; Schicht ; Hochschulschrift
  • Origination:
  • University thesis: Stuttgart, Univ., Diss., 2013
  • Footnote:
  • Access State: Open Access