Media type: E-Article Title: Virtual Prototyping von Nano- und Makrosystemen Contributor: Höhne, Günter [Other]; Brix, Torsten [Other]; Henkel, Veit [Other]; Lotter, Eberhard [Other]; Lotz, Markus [Other]; Reeßing, Michael [Other] Published: 2005 2011 Published in: Maschinenbau von Makro bis Nano ; 2005, [P.04], insges. 11 S. Language: German Origination: Footnote: Parallel als CD-ROM-Ausg. erschienen Access State: Open Access