Media type: E-Article Title: Tribology of nanopositioning Contributor: Liu, Yonghe [Other]; Hild, Wolfram [Other]; Scherge, Matthias [Other]; Schäfer, Jürgen A. [Other] imprint: 2005 2010 Published in: Maschinenbau von Makro bis Nano ; 2005, [01.04], insges. 2 S. Language: English Origination: Footnote: Parallel als Druck- und CD-ROM-Ausg. erschienen Access State: Open Access