Media type: E-Article Title: Untersuchungen zur erreichbaren Positionierunsicherheit bei elektrodynamischen Direktantrieben mit aerostatischer Führung Contributor: Hesse, Steffen [Other]; Schäffel, Christoph [Other]; Mohr, Hans-Ulrich [Other]; Katzschmann, Michael [Other] imprint: 2005 2010 Published in: Maschinenbau von Makro bis Nano ; 2005, [01.P.02], insges. 2 S. Language: German Origination: Footnote: Access State: Open Access