Media type: E-Book; Text; Doctoral Thesis; Electronic Thesis Title: Prozeßbegleitende Bestimmung von Defektdichten in hochintegrierten Schaltungen Contributor: Weiland, Larg H. [Author] imprint: KIT-Bibliothek, Karlsruhe, 1998-01-01 Language: German Keywords: DATA processing & computer science Origination: Footnote: Diese Datenquelle enthält auch Bestandsnachweise, die nicht zu einem Volltext führen.