Media type: E-Book; Thesis Title: Chemische Gasphasenabscheidung von Metallsilicatschichten aus Einquellen-Ausgangsstoffen für Anwendungen in der Mikroelektronik Contributor: Lemberger, Martin [Author] Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: Mikroelektronik ; Halbleitertechnologie ; MOCVD-Verfahren ; Ausgangsmaterial ; MIS ; High-k-Dielektrikum ; Halbleitergrenzfläche ; Hochschulschrift Origination: University thesis: Erlangen, Nürnberg, Diss., 2010 Footnote: Access State: Open Access