Media type: E-Book; Thesis Title: Entwicklung eines MEMS Drucksensor-Prozessmoduls für die Post-CMOS Integration Contributor: Wang, Qiang [Verfasser]; Vogt, Holger [Akademischer Betreuer]; Schmechel, Roland [Akademischer Betreuer] imprint: Duisburg; Essen: Universitätsbibliothek Duisburg-Essen, 2012 Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: Hochschulschrift Origination: University thesis: Duisburg, Essen, Universität Duisburg-Essen, Diss., 2012 Footnote: Access State: Open Access