Media type: E-Book; Thesis Title: Schädigungsfreie Ablation dielektrischer Schichten auf Silizium mittels ultrakurzer Laserimpulse Contributor: Rublack, Tino [Verfasser]; Seifert, Gerhard [Akademischer Betreuer]; Wehrspohn, Ralf B. [Akademischer Betreuer]; Gobsch, Gerhard [Akademischer Betreuer] imprint: Halle, Saale: Universitäts- und Landesbibliothek Sachsen-Anhalt, 2012 Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: Ablation; ultrakurze Laserimpulse; Laser; Silizium; Femtosekunden; dielektrische Schichten; SiO2; SixNy ; ablation; ultrashort laser pulses; silicon; femtosecond; dielectric layers; SiO2; SixNy ; Hochschulschrift Origination: University thesis: Halle (Saale), Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg, Diss., 2012 Footnote: Access State: Open Access