Media type: E-Book; Thesis Title: Abtragsverhalten von Einkristallen und Strukturierung von Siliziumnitrid-Membranen mittels Fokussiertem Ionenstrahl Contributor: Stark, Yuliya [Verfasser]; Oepen, Hans Peter [Akademischer Betreuer] imprint: Hamburg: Staats- und Universitätsbibliothek Hamburg, 2013 Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: Ion ; Sputtern ; Channeling ; Einkristall ; Strukturierung ; Ionenstrahl ; Fokussierter Ionenstrahl ; Abtragsrate ; Kanalisierung ; Siliziumnitrid ; Nanostrukturierung ; Focused Ion Beam ; sputter yield ; single crystal ; silicon nitride ; cantilever sensor ; Hochschulschrift Origination: University thesis: Hamburg, Universität Hamburg, Diss., 2013 Footnote: Access State: Open Access