Media type: E-Book; Thesis Title: Mechanical Properties of Thin Films Studied by Bulge Testing Other titles: Charakterisierung der mechanischen Eigenschaften dünner Membranen mittels Bulge-Experimenten Contributor: Merle, Benoit [Verfasser]; Göken, Mathias [Akademischer Betreuer] imprint: Erlangen: Universitätsbibliothek der Universität Erlangen-Nürnberg, 2013 Extent: Online-Ressource Language: English Identifier: Keywords: Dünne Schicht > Mechanische Eigenschaft > Size-Effekt > Nanometerbereich > Bulge-Test > Rasterkraftmikroskop Origination: University thesis: Erlangen, Universität Erlangen-Nürnberg, Diss., 2013 Footnote: Access State: Open Access