Media type: E-Book; Thesis Title: Ortsaufgelöste Messung der Gitterverspannungen in Halbleitern mittels Dunkelfeld off-axis Elektronenholographie Contributor: Sickmann, Jan [Verfasser]; LICHTE, HANNES [Akademischer Betreuer]; Koch, Christoph T. [Akademischer Betreuer] imprint: Dresden: Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden; Dresden: Technische Universität Dresden, 2015 Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: RVK notation: UH 6300 : Transmissionselektronenmikroskopie insgesamt, Allgemeines Keywords: Mechanische Spannung ; Halbleiter ; Elektronenholografie ; Messung ; Raumauflösung ; Dunkelziffer ; Transistor ; Berry-Phase ; Beugung ; Hologramm ; Deckschicht ; Drain ; Transmissionselektronenmikroskopie ; Dunkelfeldholographie ; Geometrische Phase ; Gitterverspannung ; Dehnungsmessung ; mechanisch verspannte Halbleiterstrukturen ; transmission electron microscopy ; dark-field electron holography ; geometric phase ; lattice strain ; strain mapping ; strained semiconductor devices ; Origination: University thesis: Dresden, Technische Universität Dresden, Diss., 2014 Footnote: Access State: Open Access