Media type: E-Book; Thesis Title: Entwicklung und Herstellung von neuartigen Sonden für die elektrische und optische Rastersondenmikroskopie Other titles: Development and fabrication of novel probes for electrical and optical scanning probe microscopy Contributor: Jambreck, Joachim Dietmar [Verfasser]; Frey, Lothar [Akademischer Betreuer] imprint: Erlangen: Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2015 Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: Sonde ; Rastersondenmikroskopie ; Halbleiter ; Elektrische Messtechnik ; Optische Messtechnik ; Rastersondenmikroskop ; Sensor ; Mikroelektronik ; Nanotechnologie ; Nanotechnology ; Analytik ; Analytics ; Microelectronics ; Scanning near field optical microscopy ; SNOM ; Optische Rasternahfeldmikroskopie ; cAFM ; Raster-Kapazitäts-Mikroskopie ; Scanning capacitance microscopy ; SCM ; conductive AFM ; Raster-Leitfähigkeits-Mikroskopie ; UV-Nanoimprintlithographie ; UV-nanoimprint lithography ; [...] Origination: University thesis: Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), Diss., 2015 Footnote: Access State: Open Access