Media type: E-Book; Thesis Title: Aluminium based micro mirrors exposed to UV laser light – in situ performance and degradation Other titles: Aluminium basierte Mikrospiegel unter UV-Laserbestrahlung – in situ Verhalten und Alterung Contributor: Mai, Alexander [Verfasser]; Schmeißer, Dieter [Akademischer Betreuer] imprint: Cottbus: BTU Cottbus - Senftenberg, 2014 Extent: Online-Ressource Language: English Identifier: Keywords: Kippspiegel ; Aluminium ; Ultraviolett-Bestrahlung ; Laser ; SLM ; Micro mirror array ; MOEMS ; Laser exposure ; In situ ; Mikrospiegel ; Laserbestrahlung ; Hochschulschrift Origination: University thesis: Dissertation, Cottbus, BTU Cottbus - Senftenberg, 2014 Footnote: Access State: Open Access