Media type: E-Book; Thesis Title: Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung (PE-CVD) von Multifunktionsschichten aus dem Precursorensystem Hexamethyldisiloxan/Sauerstoff Contributor: Baier, Maximilian Paul [Verfasser]; Hirth, Thomas [Akademischer Betreuer] imprint: Stuttgart: Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart, 2016 Extent: Online-Ressource Language: German DOI: 10.18419/opus-8772 Identifier: Keywords: Plasma ; Beschichten ; Gasphase ; Ausgangsmaterial ; Permeation ; Hexamethyldisiloxan ; Gas ; HDPE ; Chemischer Reaktor ; Abscheider ; Teilchen ; Hartstoff ; Beschichtung ; Plasma ; plasma enhanced chemical vapor deposition ; Hochschulschrift Origination: University thesis: Dissertation, Stuttgart, Universität Stuttgart, 2015 Footnote: Access State: Open Access