Media type: E-Book; Thesis Title: Herstellung und Charakterisierung von gesputterten Bornitrid- und Borcarbid- Schichten und deren Modifikation durch Ionenimplantation Contributor: Chiang, Chung-I [Author] Published: Karlsruhe: KIT-Bibliothek, 1995 Published in: Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5644 Extent: Online-Ressource Language: German Identifier: Keywords: Borcarbid ; Bornitrid ; Ionenimplantation ; Herstellung ; Hochschulschrift Origination: University thesis: Dissertation, Karlsruhe, Universität Karlsruhe (TH), 1995 Footnote: Access State: Open Access