Media type: E-Book; Thesis Title: Silicon nanostructures: from isolated nanocrystals to percolated networks Contributor: Laube, Jan [Verfasser]; Zacharias, Margit [Akademischer Betreuer] Corporation: Technische Fakultät ; Institut für Mikrosystemtechnik ; Albert-Ludwigs-Universität Freiburg imprint: Freiburg: Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, 2017 Extent: Online-Ressource Language: English DOI: 10.6094/UNIFR/12198 Identifier: Keywords: Nanokristall ; Siliciumverbindungen ; PECVD-Verfahren ; Siliciumsuboxide ; (local)doctoralThesis ; Hochschulschrift Origination: University thesis: Dissertation, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, 2017 Footnote: cc_by_sa http://creativecommons.org/licenses/by-sa/4.0/deed.de cc Access State: Open Access