Meinert, Tobias
[Author]
;
Rohrbach, Alexander
[Degree supervisor];
Kubitscheck, Ulrich
[Degree supervisor]
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Institut für Mikrosystemtechnik,
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Fakultät für Angewandte Wissenschaften,
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg