Beh, Holger
[Author]
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Zacharias, Margit
[Degree supervisor]
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Fakultät für Angewandte Wissenschaften,
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Institut für Mikrosystemtechnik,
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Fakultät für Angewandte Wissenschaften,
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg