Media type: E-Book Title: Entwicklung piezoelektrisch adaptiver Aluminiumnitrid/Diamant-Linsen für mikrooptische Systeme Contributor: Knöbber, Fabian [Verfasser]; Ambacher, Oliver [Akademischer Betreuer] Corporation: Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Fakultät für Angewandte Wissenschaften imprint: Freiburg: Universität, 2018 Extent: Online-Ressource Language: German DOI: 10.6094/UNIFR/15529 Identifier: Keywords: Mikrooptik ; Diamant ; Aluminiumnitrid ; Mikrosystemtechnik ; Adaptive Optik ; Optische Eigenschaft ; Piezoelektrischer Aktor ; Werkstoffkunde ; Dünnschichttechnik ; (local)doctoralThesis Origination: University thesis: Dissertation, Universität Freiburg, 2018 Footnote: Access State: Restricted Access | Information to licenced electronic resources of the SLUB Rights information: Attribution - Non Commercial - No Derivs (CC BY-NC-ND)