Media type: E-Book Title: Development and characterization of piezoelectric AlScN-based alloys for electroacoustic applications Contributor: Lu, Yuan [Verfasser]; Ambacher, Oliver [Akademischer Betreuer] Corporation: Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Fakultät für Angewandte Wissenschaften imprint: Freiburg: Universität, 2019 Extent: Online-Ressource Language: English DOI: 10.6094/UNIFR/149771 Identifier: Keywords: Alloys ; Sputtern ; Dünne Schicht ; Aluminiumnitrid ; Piezoelektrizität ; Aluminiumscandiumnitrid ; SAW ; (local)doctoralThesis Origination: University thesis: Dissertation, Universität Freiburg, 2019 Footnote: Access State: Open Access